オスミウム・プラズマコーター オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ

フィルジェン / フィルジェン

チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽減に絶大な効果を発揮/電子顕微鏡試料用薄膜作製装置

型番： OPC80T

●SEM試料用の導電性薄膜作製装置
●特許取得ずみの製膜法により、優れた膜厚再現性を実現
●粒状性のないオスミウム薄膜
●試料への熱ダメージがない
●ナフタレンを用いたプラズマ重合膜の製膜はフィルジェンだけ
●独自開発のオスミウムトラップフィルターにより、ロータリーポンプからの排気は環境基準をクリア

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仕様

型番	OPC80T
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	450x410x390mm
重さ	30kg
電源	AC100V
希望小売価格 （税抜）	4,700,000円（税込 5,170,000円）

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