膜厚モニター FE-300F

大塚電子 / 大塚電子

絶対反射率測定による高精度な膜厚測定

型番： FE-300F

・ 薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
・ 非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
・ 非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析（n：屈折率、k：消衰計数）が可能
・ 条件設定や測定操作が簡単、手軽に膜厚測定が可能

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仕様

型番	FE-300F
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	280×570×350
重さ	24
電源	AC100V±10V
希望小売価格 （税抜）	お問い合わせ

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