分光エリプソメータ FE-5000 series

大塚電子 / 大塚電子

ナノレベルの薄膜の膜厚・膜質管理

型番： FE-5000 series

・ 高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜に対応。
・ 従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上。

• メーカーサイト

仕様

型番	FE-5000 series
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	650×400×593
重さ	50
電源	AC100V±10V
希望小売価格 （税抜）	お問い合わせ

※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。※価格に消費税は含まれておりません。※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。※輸出をご検討の際は別途お問合せ下さい。