ロードポート対応膜厚測定システム GS-300

大塚電子 / 大塚電子

ロードポート対応膜厚測定システム
半導体工場の膜厚測定ニーズに対応

型番： GS-300

・ 300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応
・ ウェーハに埋め込んだ配線パターンのパターンアライメントを実現（IRカメラ）
・ 半導体プロセスの高スループット要求に対応
・ ノッチプリアライメント機能に対応
・ 小フットプリント仕様（W475mm×D555ｍｍ）

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仕様

型番	GS-300
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	500×500×1680
重さ	120
電源	AC200V±10V
希望小売価格 （税抜）	お問い合わせ

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