顕微分光膜厚計 OPTM series

大塚電子 / 大塚電子

極薄膜から厚膜まで膜厚を高速・高精度測定

型番： OPTM series

・ 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約
・ 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
・ 1ポイント1秒以内の高速測定
・ 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
・ エリアセンサーによる安全機構
・ 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザードを搭載
・ 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
・ 複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法）
・ 300mmステージ対応可能
・ 各種カスタマイズに対応

• メーカーサイト

仕様

型番	OPTM series
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	556×566×618
重さ	66
電源	AC100V±10V
希望小売価格 （税抜）	お問い合わせ

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