非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定
型番： SF-3
・ 非接触でウェーハや樹脂の厚みを高速・高精度に測定可能
・ 高い測定再現性を実現
・ 長いWD（ワークディスタンス）を実現し、機器への組み込みが容易
・ 多層厚み測定が可能
・ テンポラリーウェーハ（仮貼り合わせウェーハ）の各層厚み測定が可能
・ ホスト機器からLANを使用したTCP/IP通信で制御
仕様
| 型番 | SF-3 |
|---|---|
| 本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm |
123×224×128 |
| 重さ | 4 |
| 電源 | AC100V±10V |
| 希望小売価格 （税抜） |
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