カラーフィルタ分光特性検査装置 LCF series

大塚電子 / 大塚電子

最小2μm測定スポットで高精細カラーフィルタを評価

型番： LCF series

・ 透過スペクトル測定、色測定をはじめ、濃度測定、膜厚測定、反射スペクトル測定などにより、カラーフィルタ製造工程中のあらゆる検査に対応可能な装置
・ カラーフィルタの光学特性やガラス基板上膜の薄膜解析など、さまざまな評価に利用可能
・ オートフォーカス機能や自動絵素位置合わせ機能により、高精度な測定が可能であり、レシピ登録による完全自動検査にも対応し可能

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仕様

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